質(zhì)量流量計(jì)智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計(jì)，觸摸屏控制調(diào)節(jié)不同時(shí)間不同流量氣體，操控簡單，

CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。

• 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間最快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對前段氣體壓力的擾動進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

質(zhì)量流量計(jì)智能氣體配比器KT-C4ZS資料                                                                                    ;